ROHS金屬成分分析儀(SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了高的能量分辨率。

　　和EDS一樣可以并行檢測(cè)，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。

　　ROHS金屬成分分析儀系統(tǒng)簡(jiǎn)介：最新開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng)，不需移動(dòng)衍射光柵或檢測(cè)器（CCD）就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖

　　SXES、WDS、EDS的比較各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

　　即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

　　 比較表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (費(fèi)米邊處 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化學(xué)結(jié)合狀態(tài)分析	可以	可以(主要是輕元素)	不可以
并行檢測(cè)	可以	不可以 (但分光譜儀臺(tái)數(shù)范圍即可)	可以
分光晶體和檢測(cè)器	衍射光柵＋CCD	分光晶體＋正比計(jì)數(shù)管	SDD
檢測(cè)器冷卻	珀?duì)柼鋮s	不需要	珀?duì)柼鋮s
檢測(cè)限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

　　鋰離子二次電池（LIB）分析實(shí)例

　　能觀察到LIB的充電量

　　充滿電后Li-K樣品的譜圖

　　說明:由于理論上的原因，氧化鋰的檢測(cè)很困難

　　輕元素的測(cè)試實(shí)例

　　SXES測(cè)試碳素化合物的實(shí)例

　　可以測(cè)試金剛石、石墨、聚合物的不同。

　　各種氮素化合物的測(cè)試實(shí)例氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。